什么是復合分子泵

1. 純渦輪分子泵：只有多級動 / 靜渦輪葉片，抽速大，但排氣側壓縮比低，前級壓力稍高就會氣體逆流；

2. 純牽引分子泵：螺旋槽 / 盤式溝槽轉子，壓縮比ji高，但抽速很小；

3. 復合分子泵：進氣端渦輪級負責大抽速，排氣端串聯牽引螺旋槽級負責高壓壓縮，一體成型。

二、內部結構

1. 渦輪段（進氣側）

   多級傾斜動葉片 + 固定靜葉片，高速拍打氣體分子，把腔體氣體快速往后方輸送，主打大抽速，適配分子流稀薄氣體環境。

2. 牽引段（排氣側，核心復合結構）

   轉子開螺旋牽引溝槽（筒式 / 盤式兩種），對已經壓縮后的氣體再次增壓，大幅提升壓縮比，允許更高前級背壓，減少氣體返流。

3. 配套部件：高速電機、軸承（滾珠 / 陶瓷 / 磁懸浮）、水冷散熱、驅動控制器、前級排氣口。

三、工作原理

1. 前級泵（旋片泵、干式渦旋泵）先把真空腔體預抽至 1Pa 左右；

2. 復合分子泵轉子高速旋轉，進氣渦輪葉片撞擊氣體分子，賦予分子向排氣口運動的定向動量；

3. 氣體進入后端螺旋牽引槽，溝槽持續對氣體二次壓縮，壓力逐級升高后從排氣口排出；

4. 牽引結構阻擋高壓側氣體反向倒流，因此相比普通渦輪泵，耐更高前級壓力、極限真空更好。