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        技術(shù)文章/ Technical Articles

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        產(chǎn)品分類 / PRODUCT

        半導(dǎo)體晶圓紫外線(UV)臭氧清洗設(shè)備

        更新時間:2024-09-23      瀏覽次數(shù):717

        半導(dǎo)體晶圓紫外線(UV)臭氧清洗設(shè)備

        半導(dǎo)體晶圓紫外線(UV)臭氧清洗設(shè)備
        波長185納米、254納米
        目的清潔/修改
        行業(yè)半導(dǎo)體制造
        待安裝設(shè)備半導(dǎo)體清洗設(shè)備

        UV照射設(shè)備用于清洗半導(dǎo)體晶圓。紫外線照射會產(chǎn)生臭氧,去除晶圓表面的有機(jī)物。半導(dǎo)體晶圓紫外臭氧清洗設(shè)備可用于原型/開發(fā)和批量生產(chǎn)。原型機(jī)和開發(fā)機(jī)是半自動的,生產(chǎn)能力低,而量產(chǎn)機(jī)是自動化機(jī)。

        UV照射設(shè)備采用185nm和254nm汞燈作為光源。當(dāng)185nm紫外線被氧氣吸收時,產(chǎn)生臭氧(O3)并產(chǎn)生活性氧。

        技術(shù)文件《審查半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的紫外線照射設(shè)備以實現(xiàn)成本降低》


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        • 更換晶圓周邊曝光光源,成本降低30%以上

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          • 目的

            接觸

          • 行業(yè)

            半導(dǎo)體制造

          • 設(shè)備

            涂布機(jī)開發(fā)商

          • 波長

            365nm

          • 任務(wù)

            初始成本和運行成本降低



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